典型应用 场镜-微纳加工设备光斑监测
针对小光斑，相机直接检测无法观察到细节，无法进行评价，光斑放大分析装置将光斑进行无损放大从而评价光斑,如下图所示：
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光研科技推出的微焦点检测光斑分析产品，其最小可测直径1um聚焦光斑,产品硬件由传感器、对焦平台、物镜、衰减系统组成，灵活的模块化组合，满足客户设备集成需求。
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产品型号 |
N0307-X10 |
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传感器类型 |
CMOS、InGaAs、氧化钒、Phosphor、Quantum Dot |
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供电及接口 |
USB 3.0或GigE |
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检测波段 （任选一种） |
D：190~300nm/U：343~355nm/ G:515~532nm/V:400-800nm N：900~1100nm /S：1100~1700nm L:8~14µm |
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聚焦光斑测量 |
0.5um-700um |
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数值孔径 |
0.85 |
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最大测量功率 |
10W（UV）~50W@(IR) |
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放大倍率 |
2/5/10/20/50/100倍可选 |
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外形尺寸 |
长*宽*高 ：200*65*130mm |
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场镜-微纳加工设备光斑监测 |
Wavelab Beamfiler 光斑分析仪
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